基本信息:
- 专利标题： 微机电系统麦克风
- 申请号：CN201810538536.7 申请日：2018-05-30
- 公开(公告)号：CN110351641B 公开(公告)日：2021-04-20
- 发明人： 谢聪敏 , 蔡振维 , 李建兴
- 申请人： 鑫创科技股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹县
- 专利权人： 鑫创科技股份有限公司
- 当前专利权人： 鑫创科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹县
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理人： 陈小雯
- 优先权： 15/943,637 20180402 US
- 主分类号： H04R19/04
- IPC分类号： H04R19/04
摘要：
本发明公开一种微机电系统麦克风，包括基板，具有基板开口。支撑介电层设置在所述基板上，围绕所述基板开口。振膜由所述支撑介电层支撑，位于所述基板开口上方，其中当所述振膜在停止操作状态时，所述振膜有似碗状结构朝向所述基板开口弯曲成凸出形状。背板设置在所述支撑介电层上且在所述振膜的上方，其中所述背板包含多个通孔在对应所述基板开口的区域。
公开/授权文献:
- CN110351641A 微机电系统麦克风 公开/授权日：2019-10-18