
基本信息:
- 专利标题: 微型流体控制装置
- 申请号:CN201810133595.6 申请日:2018-02-09
- 公开(公告)号:CN110131140B 公开(公告)日:2021-03-02
- 发明人: 莫皓然 , 张英伦 , 陈世昌 , 林志峰 , 韩永隆 , 黄启峰 , 蔡长谚
- 申请人: 研能科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
- 专利权人: 研能科技股份有限公司
- 当前专利权人: 研能科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
- 代理机构: 隆天知识产权代理有限公司
- 代理人: 聂慧荃; 郑特强
- 主分类号: F04B43/04
- IPC分类号: F04B43/04
摘要:
一种微型流体控制装置,包含:一进气板;一共振板,供与该进气板组配结合:一压电致动器,与该共振板组配结合,包括有:一悬浮板,具有一第一表面及一第二表面;一外框,环绕设置于该悬浮板的外侧,并具有一组配表面;至少一支架,连接于该悬浮板与该外框之间,以提供弹性支撑该悬浮板;以及一压电元件,贴附于该悬浮板的第二表面上,用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动;其中,该至少一支架成形于该悬浮板与该外框之间,并使该悬浮板的第一表面与外框的组配表面形成为非共平面,且使该悬浮板的第一表面与该共振板之间保持一腔室间距。
公开/授权文献:
- CN110131140A 微型流体控制装置 公开/授权日:2019-08-16
IPC结构图谱:
F | 机械工程;照明;加热;武器;爆破 |
--F04 | 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵 |
----F04B | 液体变容式机械;泵 |
------F04B43/00 | 具有柔性工作元件的机械、泵,或泵送装置 |
--------F04B43/02 | .具有板状柔性件,例如隔膜 |
----------F04B43/04 | ..具有电气驱动的泵 |