基本信息:
- 专利标题： 形状可变镜及激光加工装置
- 申请号：CN201780076464.2 申请日：2017-11-15
- 公开(公告)号：CN110073251B 公开(公告)日：2021-06-22
- 发明人： 石塚智彦 , 小林信高 , 泷川靖弘
- 申请人： 三菱电机株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 三菱电机株式会社
- 当前专利权人： 三菱电机株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理人： 何立波; 张天舒
- 优先权： 2016-244572 20161216 JP
- 国际申请： PCT/JP2017/041120 2017.11.15
- 国际公布： WO2018/110191 JA 2018.06.21
- 进入国家日期： 2019-06-11
- 主分类号： G02B5/10
- IPC分类号： G02B5/10 ; B23K26/064 ; G02B7/185
摘要：
形状可变镜(10)具有：圆形反射镜(1)，其是具有反射面的反射镜；Y轴部件(4)，其是具有作为第1板部的Y轴背板(4a)和作为第1脚部的2个Y轴脚(4b1、4b2)的第1部件；X轴部件(5)，其是具有作为第2板部的X轴背板(5a)和跨过第1部件延伸而与反射镜抵接的作为第2脚部的2个X轴脚(5b1、5b2)的第2部件；距离变更部(2)，其使第1板部和反射镜之间的距离与第2板部和反射镜之间的距离对称地变化；以及保持部件(6)，其对第1部件和第2部件进行保持。在反射镜中，将2个第1脚部各自抵接的部位之间连结的线段、和将2个第2脚部各自抵接的部位之间连结的线段相交叉。
公开/授权文献:
- CN110073251A 形状可变镜及激光加工装置 公开/授权日：2019-07-30