基本信息:
- 专利标题： 平面光栅六自由度位移测量系统中误差分离与补偿方法
- 申请号：CN201910156641.9 申请日：2019-03-01
- 公开(公告)号：CN110057304B 公开(公告)日：2020-10-20
- 发明人： 胡金春 , 朱煜 , 田畅 , 张鸣 , 尹文生 , 成荣 , 王磊杰 , 韩如锦 , 徐登峰
- 申请人： 清华大学
- 申请人地址： 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 专利权人： 清华大学
- 当前专利权人： 清华大学
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 代理机构： 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理人： 邸更岩
- 主分类号： G01B11/03
- IPC分类号： G01B11/03
摘要：
平面光栅六自由度位移测量系统中误差分离与补偿方法，所述方法是在无需借助其他位移传感器的情况下，利用附加读数头实现平面光栅六自由度位移测量系统中各参数与其标称值之间误差的分离与补偿。在原位移测量系统的基础上增加至少一个附加读数头；建立包含六自由度位移与待分离误差的测量模型；通过测量多个位置点的信号建立方程组，方程组中方程个数应等于或多于位移未知量和待分离误差未知量的个数；通过此方程组解算出位移未知量和待分离误差未知量；将待分离误差的解算结果作为已知量代入测量模型中，得到补偿后的六自由度位移测量模型。
公开/授权文献:
- CN110057304A 平面光栅六自由度位移测量系统中误差分离与补偿方法 公开/授权日：2019-07-26
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/02 | .用于计量长度、宽度或厚度 |
| ----------G01B11/03 | ..通过测量各点的坐标 |