基本信息:
- 专利标题： 用于模压微米和/或纳米结构的方法
- 申请号：CN201780074292.5 申请日：2017-10-23
- 公开(公告)号：CN109997078B 公开(公告)日：2023-03-31
- 发明人： J.克罗尔 , B.波瓦扎伊
- 申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 申请人地址： 奥地利圣弗洛里安
- 专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人地址： 奥地利圣弗洛里安
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 姜云霞; 李雪莹
- 优先权： 102016123538.5 20161206 DE
- 国际申请： PCT/EP2017/076978 2017.10.23
- 国际公布： WO2018/103940 DE 2018.06.14
- 进入国家日期： 2019-05-30
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00
摘要：
本发明涉及一种模压微米结构和/或纳米结构的方法。
公开/授权文献:
- CN109997078A 用于模压微米和/或纳米结构的方法 公开/授权日：2019-07-09