基本信息:
- 专利标题： 一种晶圆固定台以及晶圆键合设备
- 申请号：CN201910002543.X 申请日：2019-01-02
- 公开(公告)号：CN109887877B 公开(公告)日：2021-09-14
- 发明人： 邢瑞远 , 丁滔滔 , 王家文 , 刘孟勇 , 刘武 , 陈国良
- 申请人： 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人： 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人： 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构： 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理人： 高洁; 张颖玲
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/67
摘要：
本发明公开了一种晶圆固定台，包括托盘以及密封圈，所述托盘，用于承载晶圆；所述密封圈，位于所述托盘上，用于密封所述托盘与所述晶圆之间的空隙；其中，所述密封圈的大小沿径向可调。
公开/授权文献:
- CN109887877A 一种晶圆固定台以及晶圆键合设备 公开/授权日：2019-06-14