基本信息:
- 专利标题： 多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统
- 申请号：CN201710976493.6 申请日：2017-10-19
- 公开(公告)号：CN109678158B 公开(公告)日：2021-03-09
- 发明人： 张伟 , 王惠 , 宋高杰 , 陈朝霞 , 相文强 , 赵阳 , 董越杰 , 王强
- 申请人： 新特能源股份有限公司
- 申请人地址： 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
- 专利权人： 新特能源股份有限公司
- 当前专利权人： 新特能源股份有限公司
- 当前专利权人地址： 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理人： 罗建民; 邓伯英
- 主分类号： C01B33/035
- IPC分类号： C01B33/035 ; B01D5/00 ; B01D53/00 ; B01D53/14 ; B01D53/18
摘要：
本发明公开了一种多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统，该方法包括以下步骤：(1)通过尾气冷却塔对尾气进行冷却液化分离，在尾气冷却塔的塔釜得到尾气冷却塔的塔釜液，初级混合物包括尾气冷却塔的塔釜液；(2)将初级混合物通入到分离塔进料进行精馏提纯，在分离塔的塔顶收集塔顶气，塔顶气包括氢气、氯化氢；在分离塔的塔顶侧线或上部采出侧线采出液，侧线采出液包括三氯氢硅、二氯二氢硅；收集分离塔的塔釜液，分离塔的塔釜液包括四氯化硅。在分离塔内实现尾气冷却塔的塔釜液中的氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅的分离，分离开的组分不是同系化合物，得到的均为占比要求不同的混合物，可满足下游工艺需求。
公开/授权文献:
- CN109678158A 多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统 公开/授权日：2019-04-26
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C01 | 无机化学 |
| ----C01B | 非金属元素；其化合物 |
| ------C01B33/00 | 硅；其化合物 |
| --------C01B33/02 | .硅 |
| ----------C01B33/021 | ..制备 |
| ------------C01B33/023 | ...用二氧化硅或含二氧化硅的物料的还原方法 |
| --------------C01B33/035 | ....在存在硅、碳或耐熔金属（如钽或钨）的热丝情况下，或在存在热硅棒［通过沉积硅，如西门子法获得硅棒］情况下，用气态或汽化的硅化合物的分解或还原 |