基本信息:
- 专利标题： 氮化镓纳米线感光单元、制作方法、紫外线探测器
- 申请号：CN201811290363.8 申请日：2018-10-31
- 公开(公告)号：CN109616542B 公开(公告)日：2020-07-07
- 发明人： 檀满林 , 付晓宇 , 田勇
- 申请人： 深圳清华大学研究院
- 申请人地址： 广东省深圳市南山区高新技术产业园南区深圳清华大学研究院大楼A302室
- 专利权人： 深圳清华大学研究院
- 当前专利权人： 深圳清华大学研究院
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市南山区高新技术产业园南区深圳清华大学研究院大楼A302室
- 代理机构： 深圳市鼎言知识产权代理有限公司
- 代理人： 曾昭毅; 郑海威
- 主分类号： H01L31/101
- IPC分类号： H01L31/101 ; H01L31/0304 ; H01L31/0352 ; H01L31/18
摘要：
一种氮化镓纳米线感光单元的制作方法，包括如下步骤：提供一基板，在所述基板一侧形成一层氮掺杂的氧化镓材料层；以所述氮掺杂的氧化镓材料层为基层制作一氮化镓层，所述氮化镓层包括多条氮化镓纳米线；以及，在所述氮化镓层远离所述基板一侧形成至少两个间隔设置的金属电极。本发明还提供一种氮化镓纳米线感光单元以及一种紫外线探测器。
公开/授权文献:
- CN109616542A 氮化镓纳米线感光单元、制作方法、紫外线探测器 公开/授权日：2019-04-12