基本信息:
- 专利标题： 微机械谐振器和用于微机械谐振器的方法
- 申请号：CN201780040390.7 申请日：2017-06-29
- 公开(公告)号：CN109417368B 公开(公告)日：2023-06-23
- 发明人： A·亚科拉 , T·潘萨拉 , A·奥加 , P·派克 , J·R·德克
- 申请人： 芬兰国家技术研究中心股份公司
- 申请人地址： 芬兰埃斯波
- 专利权人： 芬兰国家技术研究中心股份公司
- 当前专利权人： 芬兰国家技术研究中心股份公司
- 当前专利权人地址： 芬兰埃斯波
- 代理机构： 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- 代理人： 郭万方
- 国际申请： PCT/FI2017/050487 2017.06.29
- 国际公布： WO2018/002440 EN 2018.01.04
- 进入国家日期： 2018-12-28
- 主分类号： H03H9/02
- IPC分类号： H03H9/02 ; H03H9/24 ; H03H3/007
摘要：
本公开描述微机械谐振器、用于谐振器的谐振器元件以及用于微调谐振器的方法。谐振器包括具有长度、宽度和厚度的谐振器元件，其中所述长度和所述宽度限定谐振器元件的平面。谐振器元件在谐振器元件的平面中包括至少两个区域(52、53)，其中所述至少两个区域具有不同的厚度。
公开/授权文献:
- CN109417368A 微机械谐振器和用于微机械谐振器的方法 公开/授权日：2019-03-01
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03H | 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 |
| ------H03H9/00 | 包括机电或电声元件的网络，如谐振电路 |
| --------H03H9/02 | .零部件 |