基本信息:
- 专利标题： 扫描型探针显微镜及其扫描方法
- 申请号：CN201810182105.1 申请日：2018-03-06
- 公开(公告)号：CN108663010B 公开(公告)日：2021-10-26
- 发明人： 繁野雅次 , 渡边和俊 , 山本浩令
- 申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 日本株式会社日立高新技术科学
- 当前专利权人： 日本株式会社日立高新技术科学
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理人： 李辉; 黄纶伟
- 优先权： 2017-063530 20170328 JP
- 主分类号： G01B21/30
- IPC分类号： G01B21/30 ; G01Q70/00
摘要：
本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其能够提高试样表面的凸凹形状的测定效率。该扫描型探针显微镜具有：悬臂，在其前端具有探针；驱动部，其从所述探针与试样表面接触的状态起以超过所述悬臂的响应速度的速度进行使所述试样向从所述探针分开的方向动作的分开动作；判定部，其在所述分开动作中，在该悬臂的(包含高阶频率的)谐振频率下检测到所述悬臂的规定振幅的振动的情况下，判定为所述探针相对于所述试样表面分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
公开/授权文献:
- CN108663010A 扫描型探针显微镜及其扫描方法 公开/授权日：2018-10-16
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B21/00 | 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件 |
| --------G01B21/30 | .用于计量表面的粗糙度或不规则性 |