基本信息:
- 专利标题： 一种判断光栅尺参考位置的装置及方法
- 申请号：CN201810069996.X 申请日：2018-01-24
- 公开(公告)号：CN108592786B 公开(公告)日：2023-08-22
- 发明人： 周倩 , 倪凯 , 肖翔 , 李星辉 , 王欢欢 , 曾理江 , 苏晓 , 袁伟涵 , 王晓浩
- 申请人： 清华大学深圳研究生院
- 申请人地址： 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
- 专利权人： 清华大学深圳研究生院
- 当前专利权人： 清华大学深圳研究生院
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
- 代理机构： 深圳新创友知识产权代理有限公司
- 代理人： 方艳平
- 主分类号： G01B11/00
- IPC分类号： G01B11/00
摘要：
本发明公开了一种判断光栅尺参考位置的装置及方法，该装置包括光源、参考点编码区、参考点掩膜、光电探测器和信号处理计算机，所述光源的光束依次穿过所述参考点掩膜和参考点编码区的透光部分之后透射到所述光电探测器上，所述光电探测器将采集到的信号发送给所述信号处理计算机，其中所述参考点掩膜和所述参考点编码区相互平行且具有相同的透光结构。本发明能够大幅度提升参考点的检测准确度和光栅尺系统的精度，同时能够降低参考点掩膜的制造难度和参考点编码区的复杂度，提高了装置的经济型和鲁棒性。
公开/授权文献:
- CN108592786A 一种判断光栅尺参考位置的装置及方法 公开/授权日：2018-09-28
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |