基本信息:
- 专利标题： 压电元件、以及压电元件应用装置
- 申请号：CN201711268261.1 申请日：2017-12-05
- 公开(公告)号：CN108428785A 公开(公告)日：2018-08-21
- 发明人： 北田和也 , 角浩二 , 酒井朋裕 , 高桥敏明
- 申请人： 精工爱普生株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京金信知识产权代理有限公司
- 代理人： 苏萌萌; 黄明武
- 优先权： 2017-026394 2017.02.15 JP
- 主分类号： H01L41/187
- IPC分类号： H01L41/187 ; C04B35/495 ; C04B35/622 ; C04B41/88
摘要：
本发明提供一种提高了压电特性的压电元件、以及压电元件应用装置。所述压电元件为，具备第一电极(60)、第二电极(80)、和被设置于所述第一电极(60)与所述第二电极(80)之间的、由包括钾、钠、铌的钙钛矿型的复合氧化物构成的薄膜的压电体层(70)的压电元件(300)，所述压电体层(70)在由θ-2θ测量所得到的X射线衍射图案中，在2θ为45°～47°的范围内存在因(002)以及(200)而得到的峰值，所述峰值的高角度侧的峰值位置为46.0°≤2θ≤46.5°，且高角度侧的峰值与低角度侧的峰值的2θ之差大于0.60°。
摘要（英）：
A piezoelectric element includes a first electrode, a second electrode, and a thin piezoelectric layer. The thin piezoelectric layer is provided between the first electrode and the first electrode, and is formed of a perovskite type compound oxide which contains potassium, sodium, and niobium. In the piezoelectric layer, in an X-ray diffraction pattern obtained by ¸-2¸ measurement, peaks derived from a (002) plane and a (200) plane are provided in a range in which 2¸ is from 45° to 47°, a peak position of the peak on a high angle side among the peaks satisfies 46.0° ‰¤ 2¸ ‰¤46.5°, and a difference of 2¸ between the peak on the high angle side and the peak on a low angle side is greater than 0.60°.
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/16 | .材料的选择 |
| --------H01L41/18 | ..用于压电器件或电致伸缩器件的 |
| ----------H01L41/187 | ...陶瓷合成物 |