基本信息:
- 专利标题： 用于通过电子回旋加速器共振等离子体制造非晶态碳层的设备
- 申请号：CN201680066839.2 申请日：2016-10-25
- 公开(公告)号：CN108350569B 公开(公告)日：2020-07-07
- 发明人： 马克·德劳内 , 安妮·吉斯
- 申请人： 法国原子能及替代能源委员会
- 申请人地址： 法国巴黎
- 专利权人： 法国原子能及替代能源委员会
- 当前专利权人： 法国原子能及替代能源委员会
- 当前专利权人地址： 法国巴黎
- 代理机构： 中国商标专利事务所有限公司
- 代理人： 宋义兴; 曾海艳
- 优先权： 1560224 2015.10.27 FR
- 国际申请： PCT/FR2016/052763 2016.10.25
- 国际公布： WO2017/072434 FR 2017.05.04
- 进入国家日期： 2018-05-11
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; H01J27/18 ; H01J37/32 ; H05H1/18 ; H05H1/46 ; F03H1/00 ; C23C14/06
摘要：
本发明涉及一种用电子回旋加速器共振等离子体制造非晶态碳层的设备，该设备包括等离子腔(13)，输送气体(4)的输送装置，磁镜(15)，沿参考轴线延伸的波导(5)，注入微波能量的注入装置(1)，用于在等离子腔(3)中生成磁场的生成装置(2)，用于在等离子腔(3)中生成磁场的生成装置(2)配置为创造磁场线的束(13)，等离子体沿磁场线束(13)传播；由碳制备而成的靶(9)；基底架(10)；其特征在于，靶(9)布置在到参考轴线(14)的距离为R靶/2到R靶，该设备进一步包含布置在波导(5)和基底架(10)之间的屏(8)。
公开/授权文献:
- CN108350569A 用于通过电子回旋加速器共振等离子体制造非晶态碳层的设备 公开/授权日：2018-07-31