基本信息:
- 专利标题： 用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台及测试方法
- 申请号：CN201810025140.2 申请日：2018-01-11
- 公开(公告)号：CN108226197B 公开(公告)日：2023-11-28
- 发明人： 訾鹏飞 , 曹磊 , 周自波 , 许铁军 , 李磊 , 韩乐 , 刘严伟 , 姚达毛
- 申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 申请人地址： 安徽省合肥市蜀山湖路350号
- 专利权人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市蜀山湖路350号
- 代理机构： 安徽合肥华信知识产权代理有限公司
- 代理人： 余成俊
- 主分类号： G01N23/20
- IPC分类号： G01N23/20
摘要：
本发明公开了一种用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台及测试方法，包括有带有通水管道的热沉，热沉的进水口与出水口分别设置有入口温度传感器和出口温度传感器，热沉被固定安装在绝热材料制成的隔热板上，热沉上方固定安装待测试材料制成的测试件，测试件在不同位置设有测试件温度传感器，测试件温度传感器通过固定座固定在隔热板上，测试平台放置在真空室中，真空室安装有电子枪提供电子对测试件的电子枪扫描区域进行扫描轰击。本发明可以有效的计算出测试件材料的电子反射率，同时得到材料在固定的冷却能力下，不同的电子扫描功率密度对应的材料表面温度，所得结果对深入研究材料溅射问题具有重要意义。
公开/授权文献:
- CN108226197A 用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台及测试方法 公开/授权日：2018-06-29
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N23/00 | 利用未包括在G01N21/00或G01N22/00组内的波或粒子辐射来测试或分析材料，例如X射线、中子 |
| --------G01N23/20 | .利用辐射的衍射，例如，用于测试晶体结构；利用辐射的反射 |