基本信息:
- 专利标题： Fe-M-C系磁性膜及其制造方法
- 专利标题（英）：Fe-M-C magnetic film and method of producing the same
- 申请号：CN94119335.7 申请日：1994-10-28
- 公开(公告)号：CN1079984C 公开(公告)日：2002-02-27
- 发明人： 中野朝雄 , 田村太久夫 , 末永和史 , 尾形洁 , 笹岛崇三 , 熊坂登行
- 申请人： 株式会社日立制作所
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社日立制作所
- 当前专利权人： 株式会社日立制作所
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 叶恺东; 曹济洪
- 优先权： 272438/93 1993.10.29 JP
- 主分类号： H01F10/14
- IPC分类号： H01F10/14
摘要：
把Fe-M-C(其中M是从Ti、Zr、Hf、Nb、V、Ta、Mo、W中选择的至少一种金属)作为必要成分，由原子比组成为Fe65-80%、 M6-16%、其余是C形成的磁性膜中，在磁性膜的微细组织中C原子及与之相结合的3-15%的Fe原子形成具有体心立方结构、平均晶粒尺寸为5-14nm的结晶性微聚合体，M原子和C原子形成平均晶粒尺寸为0.5-2的非晶质性微聚合体，两种微聚合体共存。先用溅射法形成上述组成的非晶质膜，再在非氧化性气氛中，500-560℃的低温度下进行30分钟左右的短时间热处理形成这种磁性膜。
公开/授权文献:
- CN1109628A Fe-M-C系磁性膜及其制造方法 公开/授权日：1995-10-04
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01F | 磁体；电感；变压器；磁性材料的选择 |
| ------H01F10/00 | 磁性薄膜，如单畴结构的 |
| --------H01F10/08 | .按磁层的特性区分的 |
| ----------H01F10/10 | ..按成分区分的 |
| ------------H01F10/12 | ...是金属或合金 |
| --------------H01F10/14 | ....含有铁或镍的 |