基本信息:
- 专利标题： 直列式分配容器系统
- 专利标题（英）：Inline dispense capacitor system
- 申请号：CN201680044469.2 申请日：2016-06-22
- 公开(公告)号：CN107924812A 公开(公告)日：2018-04-17
- 发明人： 安东·J·德维利耶 , 罗纳德·纳斯曼 , 詹姆斯·格罗特格德 , 小诺曼·A·雅各布森
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 杜诚; 马骁
- 优先权： 62/185,233 2015.06.26 US
- 国际申请： PCT/US2016/038684 2016.06.22
- 国际公布： WO2016/209908 EN 2016.12.29
- 进入国家日期： 2018-01-29
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/027 ; H01L21/56 ; H01L21/67
A fluid dispensing apparatus and method is disclosed. Systems include an in-line or linear bladder apparatus array configured to expand to collect a charge of fluid, and contract to assist with fluiddelivery and dispensing. The bladder array is disposed within a chamber of pressure control fluid common to exterior surfaces of each bladder in the bladder array. Simultaneously, some bladders withinthe array of linear bladders can be dispensing fluid or maintaining fluid while some bladders are collecting fluid. A given filtration rate can be less than a dispense rate and thus the system hereincompensates for filter-lag that often accompanies fluid filtering for microfabrication, while providing a generally linear configuration that reduces chances for defect creation. With multiple bladders, multiple different types of fluid can be readied for selective dispense.
公开/授权文献:
- CN107924812B 直列式分配容器系统 公开/授权日：2021-11-30
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |