基本信息:
- 专利标题： 一种薄膜击穿现象的实时捕捉和分析方法
- 申请号：CN201710910237.7 申请日：2017-09-29
- 公开(公告)号：CN107677726B 公开(公告)日：2021-05-04
- 发明人： 陈建文 , 王修才 , 于昕梅 , 樊耘 , 段志奎 , 朱珍 , 谭海曙 , 何志敏
- 申请人： 佛山科学技术学院
- 申请人地址： 广东省佛山市禅城区江湾一路18号
- 专利权人： 佛山科学技术学院
- 当前专利权人： 佛山科学技术学院
- 当前专利权人地址： 广东省佛山市禅城区江湾一路18号
- 代理机构： 广州嘉权专利商标事务所有限公司
- 代理人： 梁嘉琦
- 主分类号： G01N27/92
- IPC分类号： G01N27/92
摘要：
本发明公开了一种薄膜击穿现象的实时捕捉和分析方法，包括步骤：读取薄膜击穿现象原始图像数据；对所读取的图像数据进行形态学图像处理；对处理后的图像数据进行图像分割运算，将击穿点与图像背景分离；将所述击穿点在原始图像数据中进行标记，得到击穿点分布图；对所述击穿点分布图进行击穿点的数量统计和形态学分析。本发明实现了电介质或半导体薄膜的击穿现象的实时捕捉和统计分析，解决了传统方法需要相当数量的样品用于测试以确保统计数据的准确性，并且消耗大量人力物力，效率低下的问题，还解决了传统方法由于无法实现特定击穿现象的实时过程研究，使分析和评价薄膜击穿诱因及其形成机理变得极为困难的问题。
公开/授权文献:
- CN107677726A 一种薄膜击穿现象的实时捕捉和分析方法 公开/授权日：2018-02-09
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N27/00 | 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料 |
| --------G01N27/92 | .通过测试击穿电压 |