基本信息:
- 专利标题： 可同时抑制在共扩散方法中的磷扩散的可丝网印刷的硼掺杂糊料
- 专利标题（英）：Screen-printable boron doping paste with simultaneous inhibition of phosphorus diffusion in co-diffusion processes
- 申请号：CN201680021806.6 申请日：2016-03-24
- 公开(公告)号：CN107484432A 公开(公告)日：2017-12-15
- 发明人： O·多尔 , I·科勒 , S·巴斯
- 申请人： 默克专利股份有限公司
- 申请人地址： 德国达姆施塔特
- 专利权人： 默克专利股份有限公司
- 当前专利权人： 默克专利股份有限公司
- 当前专利权人地址： 德国达姆施塔特
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人： 陈晰
- 优先权： 15001073.4 20150415 EP
- 国际申请： PCT/EP2016/000518 2016.03.24
- 国际公布： WO2016/165812 DE 2016.10.20
- 进入国家日期： 2017-10-13
- 主分类号： H01L21/22
- IPC分类号： H01L21/22 ; H01L31/18
摘要：
本发明涉及在有机聚合物颗粒的存在下，呈基于无机氧化物的前体，优选地二氧化硅、氧化铝和氧化硼的前体的杂化凝胶形式的新的可印刷的硼掺杂糊料，其中根据本发明的糊料可以用于制备太阳能电池的简化方法中，其中根据本发明的杂化凝胶起到掺杂介质以及扩散屏障二者的作用。
摘要（英）：
The present invention relates to a novel printable boron doping paste in the form of a hybrid gel on the basis of inorganic oxide precursors, preferably precursors of silicon dioxide, aluminum oxide and boron oxide, in the presence of organic polymer particles, the pastes according to the invention being usable in a simplified process for the production of solar cells, and the hybrid gel according to the invention functioning as a doping medium as well as a diffusion barrier.
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
| ------------H01L21/18 | ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料 |
| --------------H01L21/22 | ....杂质材料的扩散，例如在半导体或半导体的交界区掺入或析出掺杂材料，电极材料；杂质材料的再分配，例如，不引入或去除过多的掺杂剂 |