基本信息:
- 专利标题： 一种降低硅片镀膜白斑片的退火方法
- 申请号：CN201710689923.6 申请日：2017-08-14
- 公开(公告)号：CN107394010B 公开(公告)日：2020-11-27
- 发明人： 郭飞 , 彭平 , 夏中高 , 顾鹏
- 申请人： 平煤隆基新能源科技有限公司 , 中国平煤神马能源化工集团有限责任公司
- 申请人地址： 河南省许昌市襄城县产业集聚区(襄业路中段)
- 专利权人： 平煤隆基新能源科技有限公司,中国平煤神马能源化工集团有限责任公司
- 当前专利权人： 平煤隆基新能源科技有限公司,中国平煤神马能源化工集团有限责任公司
- 当前专利权人地址： 河南省许昌市襄城县产业集聚区(襄业路中段)
- 代理机构： 郑州科维专利代理有限公司
- 代理人： 王理君
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18
摘要：
本发明公开一种降低硅片镀膜白斑片的退火方法，太阳能电池制备技术领域，依次包括升温、稳定、恒温、冷却四个步骤，其特征在于，所述恒温步骤的参数确定方法包括以下步骤：第一步，对刻蚀后的硅片进行退火加工，将加工所得的物料通过测试机进行方阻测试，确认退火方案可行；第二步，将第一步退火加工所得的物料进行亲水测试A，确认二氧化硅层均匀，进而确认退火方案可行；第三步，通过DOE实验B确认影响镀膜白斑片主要因子为退火温度和氧气流量，得到最佳主要因子组合值，通过方阻测试和亲水测试确定退火工艺的可行性，再通过DOE实验确定最优的因子组合值，方便操作，准确率高。
公开/授权文献:
- CN107394010A 一种降低硅片镀膜白斑片的退火方法 公开/授权日：2017-11-24