基本信息:
- 专利标题： 拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法
- 申请号：CN201511031916.4 申请日：2015-12-31
- 公开(公告)号：CN106933057B 公开(公告)日：2018-10-16
- 发明人： 罗兵
- 申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区张东路1525号
- 专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区张东路1525号
- 代理机构： 上海思微知识产权代理事务所
- 代理人： 屈蘅; 李时云
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明提供了一种拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法。所述拼接物镜包括至少一组物镜，所述一组物镜包括相互光路连接的上、下物镜，所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上、下进水管、上、下出水管、循环水控制单元、上、下温度传感器以及至少一个下加热器；所述上、下物镜均设置于水套内，所述上进水管和上出水管设置于上物镜处，所述下进水管和下出水管设置于下物镜处，所述循环水控制单元与上、下进水管、上、下出水管连通，所述上、下温度传感器分别邻近上物镜和下物镜，至少一个所述下加热器设置于下进水管上，以通过加热器加热下进水管中的循环冷却水，从而平衡上、下物镜的温度，保证温度控制的整个均匀性。
公开/授权文献:
- CN106933057A 拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法 公开/授权日：2017-07-07