基本信息:
- 专利标题： 用于监视的方法和装置以及标明状态的盘承载器
- 专利标题（英）：Method and apparatus for monitoring and status labeling disk carriers
- 申请号：CN94117001.2 申请日：1994-09-30
- 公开(公告)号：CN1066856C 公开(公告)日：2001-06-06
- 发明人： N·T·奇斯布劳 , S·D·埃加姆 , R·D·科斯 , R·S·威廉斯
- 申请人： 氟器皿有限公司
- 申请人地址： 美国明尼苏达州
- 专利权人： 氟器皿有限公司
- 当前专利权人： 氟器皿有限公司
- 当前专利权人地址： 美国明尼苏达州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 杜有文; 王岳
- 优先权： 225,228 1994.04.08 US
- 主分类号： H01L21/68
- IPC分类号： H01L21/68 ; B65D85/86 ; G11B5/84 ; G06K7/10
摘要：
本发明提供了一种方法和装置，用于监测多个半导体片或存储盘批料通过处理设备中的各种位置处的多个处理操作的进程，并保持与各个批料的进程有关的信息。承载器上嵌有应答器。该应答器带有编码，用于标明承载器和包含在其中的片或盘批料并进一步标明批料已经经过的各种处理操作。有限范围读取单元对每一个承载器附近进行检测，并确定任一个承载器的唯一标识。写入单元改变某一应答器的状态码，以表示该批料经过了某一处理。
公开/授权文献:
- CN1109983A 用于监视的方法和装置以及标明状态的盘承载器 公开/授权日：1995-10-11