基本信息:
- 专利标题： 氮化镓衬底
- 申请号：CN201580039559.8 申请日：2015-04-10
- 公开(公告)号：CN106536794B 公开(公告)日：2020-07-14
- 发明人： 木山诚 , 弘田龙 , 中畑成二
- 申请人： 住友电气工业株式会社
- 申请人地址： 日本大阪府大阪市
- 专利权人： 住友电气工业株式会社
- 当前专利权人： 住友电气工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本大阪府大阪市
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 李兰; 孙志湧
- 优先权： 2014-150845 2014.07.24 JP
- 国际申请： PCT/JP2015/061197 2015.04.10
- 国际公布： WO2016/013259 JA 2016.01.28
- 进入国家日期： 2017-01-19
- 主分类号： C30B29/38
- IPC分类号： C30B29/38 ; C30B33/06
摘要：
一种氮化镓衬底，具有直径不小于100mm的表面，在边均具有2mm长度的各正方形区域处在微拉曼散射映射测量中的对应于E2H光子模式的峰值的最大峰值处的波数的最大值和最小值之间的差异不小于0.1cm‑1且不大于2cm‑1，正方形区域位于氮化镓衬底的表面上的包括中心位置和四个周边边缘位置的总共五个位置处，在这五个位置中的所有测量点处的对应于E2H光子模式的峰值的最大峰值处的波数的最大值和最小值之间的差异不大于2cm‑1。
公开/授权文献:
- CN106536794A 氮化镓衬底 公开/授权日：2017-03-22