基本信息:
- 专利标题： 带涂膜切削工具的成膜装置及切削工具用涂膜的成膜方法
- 申请号：CN201480079906.5 申请日：2014-06-26
- 公开(公告)号：CN106460166B 公开(公告)日：2020-01-03
- 发明人： 河村正雄 , 须藤俊克 , 新保谷淳
- 申请人： 三菱综合材料株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 三菱综合材料株式会社
- 当前专利权人： 三菱综合材料株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理人： 齐葵; 周艳玲
- 优先权： 2014-129338 2014.06.24 JP
- 国际申请： PCT/JP2014/067072 2014.06.26
- 国际公布： WO2015/198458 JA 2015.12.30
- 进入国家日期： 2016-12-15
- 主分类号： C23C14/56
- IPC分类号： C23C14/56 ; B23P15/28 ; C23C14/32
A deposition apparatus for cutting tools with a coating film capable of depositing the coating film in an appropriate temperature condition is provided. The deposition apparatus includes: a deposition chamber in which a coating film is formed on the cutting tools; a pre-treatment chamber and post-treatment chamber, each of which is connected to the deposition chamber through a vacuum valve; and a conveying line that conveys the cutting tools from the pre-treatment chamber to the post-treatment chamber going through the deposition chamber, the in-line deposition apparatus using a conveyed carrier on which rods supporting cutting tools are provided in a standing state along a conveying direction. The deposition chamber includes: a deposition region; a conveying apparatus; a heating region; and a carrier-waiting region.
公开/授权文献:
- CN106460166A 带涂膜切削工具的成膜装置及切削工具用涂膜的成膜方法 公开/授权日：2017-02-22