基本信息:
- 专利标题： 太阳能电池的制造方法以及太阳能电池
- 专利标题（英）：Method for manufacturing solar cell and solar cell
- 申请号：CN201580011463.0 申请日：2015-03-04
- 公开(公告)号：CN106062975A 公开(公告)日：2016-10-26
- 发明人： 山林弘也 , 白柳裕介
- 申请人： 三菱电机株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 三菱电机株式会社
- 当前专利权人： 三菱电机株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人： 肖靖
- 优先权： 2014-043228 2014.03.05 JP
- 国际申请： PCT/JP2015/056405 2015.03.04
- 国际公布： WO2015/133539 JA 2015.09.11
- 进入国家日期： 2016-08-31
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L31/068 ; H01L31/0224
This invention is characterized by including: a step for forming an n-type silicon substrate (1) having a p-n junction, and forming a p-type diffusion layer (2) on one main surface side of the n-type silicon substrate (1); a step for forming a layered film of a silicon oxide film (5) and a silicon nitride film as a passivation film on one of the first and second main surfaces of the n-type silicon substrate, on the n-type light-receiving surface (1A) side; a step for forming apertured regions (9) in the passivation film; a step for diffusing an n-type impurity and forming high-concentration diffusion regions (11) by using the passivation film as a mask for the apertured regions (9) of the passivation film; and a step for selectively forming metal electrodes (13) in the high-concentration diffusion regions (11) exposed in the apertured regions (9) of the passivation film.
公开/授权文献:
- CN106062975B 太阳能电池的制造方法以及太阳能电池 公开/授权日：2017-07-21