基本信息:
- 专利标题： 片基板的搬送装置及处理装置
- 申请号：CN201610169564.7 申请日：2012-02-20
- 公开(公告)号：CN105836510B 公开(公告)日：2017-11-28
- 发明人： 浜田智秀 , 木内彻
- 申请人： 株式会社 , 尼康
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社,尼康
- 当前专利权人： 株式会社,尼康
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理人： 任默闻
- 优先权： 61/446,150 2011.02.24 US
- 主分类号： B65H23/04
- IPC分类号： B65H23/04 ; B65H23/182 ; B65H23/195
摘要：
具有形成为带状、具有可挠性的基板(S)的搬送装置(1)，该搬送装置具有：供应滚筒(5b)，送出基板(S)；回收滚筒(6b)，卷取基板(S)；以及驱动部(8)，将供应滚筒(5b)与回收滚筒(6b)驱动于相对从基板(S)的运送方向交叉的方向(X，Z)。供应滚筒(5b)被导引于第一轨(3)，回收滚筒(6b)被导引于第二轨(4)。轨驱动机构(7)变更两滚筒(5b，6b)间的间隔。配置于轨(3，4)间的处理部(PA)，对树脂或不锈钢制的基板(S)进行成膜、曝光、洗净等处理。处理部(PA)，沿轨(3，4)配置有多个。通过以多个处理部(PA)依序处理沿两滚筒(5b，6b)与轨(3，4)被运送的基板(S)，于基板(S)上形成有机EL元件。
公开/授权文献:
- CN105836510A 片基板的搬送装置及处理装置 公开/授权日：2016-08-10
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B65 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 |
| ----B65H | 搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索 |
| ------B65H23/00 | 定位、张紧、平整或引导条材 |
| --------B65H23/04 | .纵向地 |