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基本信息:
- 专利标题: 一种具有光束扩散结构的高速半导体激光器
- 申请号:CN201610265119.0 申请日:2016-04-26
- 公开(公告)号:CN105720479B 公开(公告)日:2019-03-22
- 发明人: 祝宁华 , 刘建国 , 郭锦锦 , 陈伟
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人: 乔东峰
- 主分类号: H01S5/20
- IPC分类号: H01S5/20
摘要:
本发明公开了一种半导体激光器,包括光波导结构,所述光波导结构包括自下而上依次叠置的下波导层(2)、多量子阱有源层(3)和上波导层(5),在所述多量子阱有源层(3)中的上部形成有光栅层(4),所述上波导层(5)、包层6和接触层7形成为凸脊,该凸脊具有入光端面和出光端面,并在出光端面一侧具有光束扩散结构。所述光束扩散结构具有扩束部分,所述扩束部分具有从所述出光端面向内部逐渐收缩的形状。扩束部分的水平发散角优选为5°~20°。本发明能够很好的抑制光在水平方向的扩散,改善光束质量,使其与光纤实现更好的模式匹配,并能够增加激光器的输出功率,改善激光器的高频响应特性。
公开/授权文献:
- CN105720479A 一种具有光束扩散结构的高速半导体激光器 公开/授权日:2016-06-29