基本信息:
- 专利标题： 使用编码孔径的反射式阴影掩模对准
- 申请号：CN201480058290.3 申请日：2014-08-22
- 公开(公告)号：CN105659402B 公开(公告)日：2019-01-18
- 发明人： 田村信彦
- 申请人： 阿德文泰克全球有限公司
- 申请人地址： 英属维尔京群岛托托拉岛
- 专利权人： 阿德文泰克全球有限公司
- 当前专利权人： 阿德文泰克全球有限公司
- 当前专利权人地址： 英属维尔京群岛托托拉岛
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理人： 顾红霞; 张芸
- 优先权： 13/973,328 2013.08.22 US
- 国际申请： PCT/US2014/052211 2014.08.22
- 国际公布： WO2015/027123 EN 2015.02.26
- 进入国家日期： 2016-04-22
- 主分类号： H01L51/00
- IPC分类号： H01L51/00 ; H01L51/50 ; C23C16/04 ; C23C14/04
摘要：
在阴影掩模‑衬底对准的方法中，将光源、分束器、包括第一格栅的第一衬底、包括第二格栅的第二衬底以及光接收器相对于彼此进行定位，以限定包括由光源输出的被分束器第一次反射的光的光路。被第一次反射的光分别通过第一格栅或第二格栅并且被第二格栅或第一格栅至少部分地第二次反射返回通过第一格栅或第二格栅。第二次反射的光至少部分地通过分束器以被光接收器接收。第一衬底、第二衬底或这两者的定向得到调整以定位第一格栅、第二格栅或者这两者，直到光接收器接收到预定量为止。
公开/授权文献:
- CN105659402A 使用编码孔径的反射式阴影掩模对准 公开/授权日：2016-06-08
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L51/00 | 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备 |