基本信息:
- 专利标题： 卷对卷制程设备及其系统
- 申请号：CN201510485099.3 申请日：2015-08-10
- 公开(公告)号：CN105390567B 公开(公告)日：2017-03-29
- 发明人： 游柏清 , 陈传宜 , 邹家弘 , 陈家达 , 王春雅 , 蔡奇哲 , 蓝受龙 , 陈立凯
- 申请人： 亚智科技股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾桃园县中坜市自强三路三号
- 专利权人： 亚智科技股份有限公司
- 当前专利权人： 亚智科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾桃园县中坜市自强三路三号
- 代理机构： 北京汇泽知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘淑敏
- 优先权： 103130501 2014.09.03 TW
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18
摘要：
本发明公开了一种卷对卷制程设备，适用于在一基板上进行一化学反应。基板具有相对的第一板面及第二板面。卷对卷制程设备包括一反应槽、一收卷单元、一放卷单元及一加热装置。反应槽设有一开口，反应槽用以容置一化学药液。开口提供基板的第一板面与反应槽内的化学药液接触。收卷单元及放卷单元分别对应设置于反应槽的相对两侧。加热装置设置于收卷单元与放卷单元之间且对应开口。加热装置用以加热基板的第二板面，使基板升温并与化学药液产生化学反应。
公开/授权文献:
- CN105390567A 卷对卷制程设备及其系统 公开/授权日：2016-03-09