基本信息:
- 专利标题： 一种基于MEMS硅-玻璃键合工艺的海水电导率传感器
- 申请号：CN201510982674.0 申请日：2015-12-24
- 公开(公告)号：CN105388192B 公开(公告)日：2017-12-15
- 发明人： 刘海韵 , 冯芸 , 陈嘉琪 , 郭洁
- 申请人： 河海大学
- 申请人地址： 江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号
- 专利权人： 河海大学
- 当前专利权人： 河海大学
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号
- 代理机构： 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理人： 钱丽
- 主分类号： G01N27/07
- IPC分类号： G01N27/07 ; G01N27/08
摘要：
本发明公开了一种基于MEMS硅‑玻璃键合工艺的海水电导率传感器，包括绝缘衬底、四个金属电极和过滤装置，所述的过滤装置呈圆帽型，包括半球形部和环形沿部，半球形部的顶部有过滤孔阵列，过滤装置通过其环形沿部固定在绝缘衬底的上端面上，过滤装置与绝缘衬底之间形成的空腔为电导池，四个金属电极均设置于电导池内的绝缘衬底上，四个金属电极分别通过连接引线与外界测试电路相连。与现有技术相比，本发明的有益效果是：克服了现有MEMS电导率传感器抗污染能力差、测量精度低的缺点；具有结构简单、体积小巧、功耗低、成本低、通用性强等优点，便于实现实时高精度的海水电导率测量。
公开/授权文献:
- CN105388192A 一种基于MEMS硅-玻璃键合工艺的海水电导率传感器 公开/授权日：2016-03-09