基本信息:
- 专利标题： 基板
- 申请号：CN201510315901.4 申请日：2015-06-10
- 公开(公告)号：CN105280566B 公开(公告)日：2019-03-05
- 发明人： 凯瑟琳·克鲁克 , 斯蒂芬·R·伯吉斯
- 申请人： SPTS科技有限公司
- 申请人地址： 英国新港
- 专利权人： SPTS科技有限公司
- 当前专利权人： SPTS科技有限公司
- 当前专利权人地址： 英国新港
- 代理机构： 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理人： 张颖玲; 胡春光
- 优先权： 1410317.0 2014.06.10 GB
- 主分类号： H01L23/14
- IPC分类号： H01L23/14 ; H01L21/316
摘要：
在其上具有介电膜的基板，其中，该介电膜包括介电材料的至少四个堆叠的层；该堆叠的层包括经受压缩应力的压缩性层，以及经受拉伸应力的拉伸性层；并且存在至少两个间隔开的拉伸性层，该至少两个间隔开的拉伸性层中的每一个均与一个或多个压缩性层相邻。
公开/授权文献:
- CN105280566A 基板 公开/授权日：2016-01-27
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L23/00 | 半导体或其他固态器件的零部件 |
| --------H01L23/02 | .容器；封接 |
| ----------H01L23/14 | ..按其材料或它的电性能区分的 |