基本信息:
- 专利标题： 一种石英玻璃清洗方法
- 申请号：CN201510468665.X 申请日：2015-08-04
- 公开(公告)号：CN105195487B 公开(公告)日：2018-03-02
- 发明人： 秦淑斌 , 袁枫 , 江安然 , 吴艳 , 魏超 , 刘洋 , 隗春燕
- 申请人： 航天科工惯性技术有限公司
- 申请人地址： 北京市丰台区海鹰路1号院2号楼三层
- 专利权人： 航天科工惯性技术有限公司
- 当前专利权人： 航天科工惯性技术有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市丰台区海鹰路1号院2号楼三层
- 主分类号： B08B11/00
- IPC分类号： B08B11/00 ; B08B3/02 ; B08B3/08 ; B08B3/12 ; B08B7/00
摘要：
本发明提出一种石英玻璃清洗方法，通过采用有机溶剂加热浸洗、低压汞灯照射和热处理、稀释的H2SO4：HF溶液对石英玻璃的刻蚀反应以及超声振动和去离子水高压喷淋等处理方式，将各种处理方法进行有机组合，确定了其先后次序及关键工艺参数的最佳范围，使各种处理方法之间相互配合，最大限度发挥作用，有效去除了石英玻璃表面的橡胶类沾污。
摘要（英）：
The invention provides a quartz glass cleaning method. An organic solvent is adopted for heating and immersion cleaning, a low pressure mercury lamp is adopted for irradiation and heat treatment, a diluted H2SO4:HF solution is adopted for carrying out etching reaction on quartz glass, ultrasonic vibration is carried out, deionized water is adopted for carrying out high pressure spraying, all the treatment methods are organically combined, and precedence orders and optimal ranges of key technological parameters are determined, so that all the treatment methods coordinate with each other, the effect is taken to the utmost extent, and rubber pollution on the surface of the quartz glass is effectively removed.
公开/授权文献:
- CN105195487A 一种石英玻璃清洗方法 公开/授权日：2015-12-30
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B08 | 清洁 |
| ----B08B | 一般清洁；一般污垢的防除 |
| ------B08B11/00 | 专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置 |