基本信息:
- 专利标题： 用于微机械元件的加工方法和相应的微机械元件
- 专利标题（英）：Method for producing a micromechanical component, and corresponding micromechanical component
- 申请号：CN201480014120.5 申请日：2014-03-12
- 公开(公告)号：CN105050941A 公开(公告)日：2015-11-11
- 发明人： F.霍伊克 , C.舍林
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 李永波; 宣力伟
- 优先权： 102013204475.5 2013.03.14 DE
- 国际申请： PCT/EP2014/054876 2014.03.12
- 国际公布： WO2014/140120 DE 2014.09.18
- 进入国家日期： 2015-09-11
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00
The invention relates to a method for producing a micromechanical component and to a corresponding micromechanical component. The production method comprises the following steps: providing a substrate (1) with a monocrystalline starting layer (1c) which is exposed in structured regions (3a-3e), said structured regions (3a-3e) having an upper face (O) and lateral flanks (F), wherein a catalyst layer (2), which is suitable for promoting a silicon epitaxial growth of the exposed upper face (O) of the structured monocrystalline starting layer (1c), is provided on the upper face (O), and no catalyst layers (2) are provided on the flanks (F); and carrying out a selective epitaxial growth process on the upper face (O) of the monocrystalline starting layer (1c) using the catalyst layer (2) in a reactive gas atmosphere in order to form a micromechanical functional layer (3').
公开/授权文献:
- CN105050941B 用于微机械元件的加工方法和相应的微机械元件 公开/授权日：2018-01-16
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 |
| ------B81C1/00 | 在基片内或其上制造或处理的装置或系统 |