基本信息:
- 专利标题： 用于减少有害物质的等离子体反应器
- 申请号：CN201510205427.X 申请日：2015-04-27
- 公开(公告)号：CN105013419B 公开(公告)日：2017-05-17
- 发明人： 许民 , 姜宇石 , 李载玉
- 申请人： 韩国机械研究院
- 申请人地址： 韩国大田市
- 专利权人： 韩国机械研究院
- 当前专利权人： 韩国机械研究院
- 当前专利权人地址： 韩国大田市
- 代理机构： 北京安信方达知识产权代理有限公司
- 代理人： 李慧慧; 郑霞
- 优先权： 10-2014-0051892 20140429 KR 10-2014-0083093 20140703 KR
- 主分类号： B01J19/08
- IPC分类号： B01J19/08 ; B01D53/32
摘要：
本发明涉及用于减少有害物质的等离子体反应器。提供了一种通过在真空泵的前端部分分解各种有害物质来减少有害物质的等离子体反应器。用于减少有害物质的等离子体反应器包括接地电极部件、绝缘体和驱动电极。接地电极部件包括位于真空泵的前端部分且具有管状形状的第一接地电极和连接到第一接地电极的侧面的第二接地电极，第一接地电极包括面向真空泵的第一端部部件和在其相对侧的第二端部部件，第二接地电极具有管状形状且转移处理气体。绝缘体被连接地安装到第二端部部件。驱动电极被固定到绝缘体的外表面，在被连接到电源时施加驱动电压，且由于与接地电极部件的电压差在第一接地电极的内部产生了低压等离子体。
公开/授权文献:
- CN105013419A 用于减少有害物质的等离子体反应器 公开/授权日：2015-11-04