基本信息:
- 专利标题： 具有掺杂压电材料和框架元件的体声波谐振器
- 专利标题（英）：Bulk Acoustic Wave Resonators Having Doped Piezoelectric Material And Frame Elements
- 申请号：CN201510088834.7 申请日：2015-02-26
- 公开(公告)号：CN104868871A 公开(公告)日：2015-08-26
- 发明人： 克里斯·冯 , 约翰·克伊 , 菲尔·尼克尔 , 凯文·J·格伦纳 , 蒂娜·L·拉梅尔斯
- 申请人： 安华高科技通用IP(新加坡)公司
- 申请人地址： 新加坡新加坡市
- 专利权人： 安华高科技通用IP(新加坡)公司
- 当前专利权人： 安华高科技通用IP(新加坡)公司
- 当前专利权人地址： 新加坡新加坡市
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 林斯凯
- 优先权： 14/190,361 2014.02.26 US
- 主分类号： H03H9/17
- IPC分类号： H03H9/17
摘要：
本发明涉及具有掺杂压电材料和框架元件的体声波谐振器。一种体声波BAW谐振器包含第一电极、第二电极和安置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电层。所述压电层包含掺杂有至少一种稀土元素的压电材料。在一实施例中，所述BAW谐振器包含安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凹陷框架元件。在另一实施例中，所述BAW谐振器包含安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凸起框架元件。在又其它实施例中，所述BAW谐振器包含所述凸起框架元件与所述凹陷框架元件两者。
摘要（英）：
A bulk acoustic wave (BAW) resonator includes a first electrode; a second electrode; and a piezoelectric layer disposed between the first and second electrodes. The piezoelectric layer includes a piezoelectric material doped with at least one rare earth element. In an embodiment, the BAW resonator includes a recessed frame element disposed over a surface of at least one of the first and second electrodes. In another embodiment, the BAW resonator includes a raised frame element disposed over a surface of at least one of the first and second electrodes. In yet another embodiment, the BAW resonator includes both the raised and recessed frame elements.