基本信息:
- 专利标题： 基于电荷积分的静电夹监测器
- 专利标题（英）：Charge integration based electrostatic clamp health monitor
- 申请号：CN201380063897.6 申请日：2013-12-24
- 公开(公告)号：CN104854687A 公开(公告)日：2015-08-19
- 发明人： 爱德华·麦金泰尔 , 爱德华·兰德尼 , 纳撒尼尔·罗宾逊 , W·戴维斯·李
- 申请人： 艾克塞利斯科技公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州贝佛利市
- 专利权人： 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人： 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州贝佛利市
- 代理机构： 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 寿宁; 张华辉
- 优先权： 13/729,524 2012.12.28 US
- 国际申请： PCT/US2013/077652 2013.12.24
- 国际公布： WO2014/105883 EN 2014.07.03
- 进入国家日期： 2015-06-04
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/683 ; H01L21/687
An electrostatic clamp monitoring system is provided having an electrostatic clamp configured to selectively electrostatically clamp a workpiece to a clamping surface associated therewith via one or more electrodes, A power supply is electrically coupled to the electrostatic clamp, wherein the power supply is configured to selectively supply a clamping voltage to the one or more electrodes of the electrostatic clamp. A data acquisition system is coupled to the power supply and configured to measure a current supplied to the one or more electrodes, therein defining a measured current. A controller integrates the measured current over time, therein determining a charge value associated a clamping force between the workpiece and electrostatic clamp. A memory stores the charge value associated with the clamping force over a plurality of clamping cycles, therein defining a plurality of charge values, and the controller determines a clamping capability of the electrostatic clamp based on a comparison of a currently determined charge value to the plurality of charge values.
公开/授权文献:
- CN104854687B 基于电荷积分的静电夹监测器 公开/授权日：2018-05-04
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/67 | .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置 |