基本信息:
- 专利标题： 迂回式红外传感器
- 申请号：CN201380056207.4 申请日：2013-08-29
- 公开(公告)号：CN104781641B 公开(公告)日：2018-03-06
- 发明人： F·普尔科利 , G·亚马 , A·费伊 , G·奥布赖恩
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司 , F·普尔科利 , G·亚马 , A·费伊 , G·奥布赖恩
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司,F·普尔科利,G·亚马,A·费伊,G·奥布赖恩
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司,F·普尔科利,G·亚马,A·费伊,G·奥布赖恩
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理人： 郭毅
- 优先权： 61/695,361 2012.08.31 US
- 国际申请： PCT/US2013/057280 2013.08.29
- 国际公布： WO2014/036250 EN 2014.03.06
- 进入国家日期： 2015-04-27
- 主分类号： G01J5/04
- IPC分类号： G01J5/04 ; G01J5/02 ; G01J5/06 ; G01J5/20 ; G01J5/08
摘要：
在一个实施例中，MEMS传感器包括镜和与镜间隔开的吸收体，所述吸收体包括多个间隔开的导电臂，所述多个间隔开的导电臂跨越所述镜正上方的区域地限定蜿蜒路径。
摘要（英）：
In one embodiment, a MEMS sensor includes a mirror and an absorber spaced apart from the mirror, the absorber including a plurality of spaced apart conductive legs defining a tortuous path across an area directly above the mirror.
公开/授权文献:
- CN104781641A 迂回式红外传感器 公开/授权日：2015-07-15