基本信息:
- 专利标题： 单晶三轴磁场传感器
- 申请号：CN201380052975.2 申请日：2013-10-10
- 公开(公告)号：CN104755948B 公开(公告)日：2018-04-10
- 发明人： 蔡永耀 , 蒋乐越 , P·扎夫兰斯基 , Y·赵 , S·顾
- 申请人： 美新公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 美新公司
- 当前专利权人： 美新公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理人： 王丽军
- 优先权： 61/713,223 2012.10.12 US
- 国际申请： PCT/US2013/064286 2013.10.10
- 国际公布： WO2014/059110 EN 2014.04.17
- 进入国家日期： 2015-04-10
- 主分类号： G01R33/00
- IPC分类号： G01R33/00
摘要：
提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧，该凸块结构形成在基板上，以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向，并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信号来产生Y和Z通道信号。X通道信号由设置在基板的水平面上的X轴传感器提供。
摘要（英）：
A three-axis magnetic sensor or magnetometer is provided. Two magnetic sensor Wheatstone bridges using barber pole AMR structures are fabricated on opposite sides of a bump structure formed on a substrate to provide surfaces that are at a predetermined angle with respect to the flat surface of the substrate. The bridge assembly is oriented along the Y axis and the bridges are interconnected such that Y and Z channel signals can be produced by processing of the bridge signals. The X channel signals are provided by an X axis sensor provided on the level surface of the substrate.
公开/授权文献:
- CN104755948A 单晶三轴磁场传感器 公开/授权日：2015-07-01
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01R | 测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
| ------G01R33/00 | 测量磁变量的装置或仪器 |