基本信息:
- 专利标题： 源极和漏极上具有不同硅化物的纳米线MOSFET
- 专利标题（英）：Nanowire MOSFET with diffrent silicides on source and drain
- 申请号：CN201410045813.2 申请日：2014-02-08
- 公开(公告)号：CN104658911A 公开(公告)日：2015-05-27
- 发明人： 让·皮埃尔·科林格 , 林正堂 , 江国诚 , 卡洛斯·H.·迪亚兹
- 申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹
- 专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹
- 代理机构： 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理人： 章社杲; 孙征
- 优先权： 14/084,680 2013.11.20 US
- 主分类号： H01L21/336
- IPC分类号： H01L21/336 ; H01L21/28 ; H01L29/78 ; H01L29/43
摘要：
本发明提供了一种纳米线场效应晶体管（FET）器件以及用于形成纳米线FET器件的方法。形成包括源极区和漏极区的纳米线FET。纳米线FET还包括连接源极区和漏极区的纳米线。在源极区上形成源极硅化物，并且在漏极区上形成漏极硅化物。源极硅化物由第一材料组成，该第一材料不同于漏极硅化物包括的第二材料。本发明提供了源极和漏极上具有不同硅化物的纳米线MOSFET。
摘要（英）：
A nanowire field effect transistor (FET) device and method for forming a nanowire FET device are provided. A nanowire FET including a source region and a drain region is formed. The nanowire FET further includes a nanowire that connects the source region and the drain region. A source silicide is formed on the source region, and a drain silicide is formed on the drain region. The source silicide is comprised of a first material that is different from a second material comprising the drain silicide. The present invention provides nanowire MOSFET with different silicides on source and drain.
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
| ------------H01L21/18 | ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料 |
| --------------H01L21/26 | ....用波或粒子辐射轰击的 |
| ----------------H01L21/335 | .....场效应晶体管 |
| ------------------H01L21/336 | ......带有绝缘栅的 |