基本信息:
- 专利标题： 一种三维大行程精密工作台测量系统自标定方法
- 申请号：CN201510056214.5 申请日：2015-02-03
- 公开(公告)号：CN104634245B 公开(公告)日：2017-06-13
- 发明人： 胡楚雄 , 朱煜 , 徐振源 , 杨进 , 张鸣 , 杨开明 , 徐登峰 , 穆海华 , 尹文生 , 胡金春 , 成荣
- 申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室;
- 专利权人： 清华大学,北京华卓精科科技有限公司
- 当前专利权人： 清华大学,北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室;
- 代理机构： 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理人： 邸更岩; 张宁
- 主分类号： G01B11/00
- IPC分类号： G01B11/00
摘要：
一种三维大行程精密工作台测量系统自标定方法，属于精密加工及测量领域。该方法利用三维自标定原理，通过使用带均匀栅格阵列的立方体光学玻璃块做辅助测量装置，将三维工作台按区域分别进行自标定，获取各区域的系统误差；对相应区域做系统误差补偿；对获得的各区域离散点坐标进行线性拟合；按照规划的顺序依次对相领区域的标定坐标系进行坐标系纠偏处理，获得整个区域内统一的标定坐标系，最终完成三维大行程精密工作台测量系统自标定。本发明实现了三维工作台的大行程、高精度自标定，同时实现了利用低精度栅格阵列的立方体玻璃块标定高精度三维工作台的功能，不需要高精度标定工具，标定精度高，适用于标定各种三维精密工作台。
公开/授权文献:
- CN104634245A 一种三维大行程精密工作台测量系统自标定方法 公开/授权日：2015-05-20
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |