基本信息:
- 专利标题： MEMS光学传感器
- 申请号：CN201380030307.X 申请日：2013-06-06
- 公开(公告)号：CN104603592B 公开(公告)日：2018-01-26
- 发明人： K·雷克 , C·厄斯特高 , O·汉森 , E·V·汤姆森
- 申请人： 丹麦技术大学
- 申请人地址： 丹麦灵比
- 专利权人： 丹麦技术大学
- 当前专利权人： 丹麦技术大学
- 当前专利权人地址： 丹麦灵比
- 代理机构： 隆天知识产权代理有限公司
- 代理人： 张浴月
- 优先权： 12171002.4 2012.06.06 EP
- 国际申请： PCT/EP2013/061701 2013.06.06
- 国际公布： WO2013/182643 EN 2013.12.12
- 进入国家日期： 2014-12-08
- 主分类号： G01L11/02
- IPC分类号： G01L11/02 ; G01L1/24
The present invention relates to an all-optical sensor utilizing effective index modulation of a waveguide and detection of a wavelength shift of reflected light and a force sensing system accommodating said optical sensor. One embodiment of the invention relates to a sensor system comprising at least one multimode light source, one or more optical sensors comprising a multimode sensor optical waveguide accommodating a distributed Bragg reflector, at least one transmitting optical waveguide for guiding light from said at least one light source to said one or more multimode sensor optical waveguides, a detector for measuring light reflected from said Bragg reflector in said one or more multimode sensor optical waveguides, and a data processor adapted for analyzing variations in the Bragg wavelength of at least one higher order mode of the reflected light.
公开/授权文献:
- CN104603592A MEMS光学传感器 公开/授权日：2015-05-06
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01L | 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力 |
| ------G01L11/00 | 用不包括在G01L7/00或G01L9/00组中的方法的流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的计量 |
| --------G01L11/02 | .应用光学方法的 |