基本信息:
- 专利标题： 正型光阻剥除剂
- 申请号：CN201310382926.7 申请日：2013-08-29
- 公开(公告)号：CN104423182B 公开(公告)日：2019-05-10
- 发明人： 李豪浚 , 吕勇军
- 申请人： 得凯莫斯公司弗罗里达有限公司
- 申请人地址： 美国特拉华
- 专利权人： 得凯莫斯公司弗罗里达有限公司
- 当前专利权人： 得凯莫斯公司弗罗里达有限公司
- 当前专利权人地址： 美国特拉华
- 代理机构： 北京永新同创知识产权代理有限公司
- 代理人： 程大军; 栾星明
- 主分类号： G03F7/42
- IPC分类号： G03F7/42
摘要：
本发明公开了一种光阻剥除剂，其包含：(a)18重量%‑80重量%的二乙烯三胺；(b)18重量%‑80重量%的烷基酰胺，其选自N,N‑二乙基乙酰胺、N,N‑二甲基丙酰胺和其混合物；和(c)0重量%‑2重量%的含氟表面活性剂，其中所述重量百分比基于该光阻剥除剂的总重量。此外，本发明还公开了使用本发明的光阻剥除剂去除光阻的方法。
公开/授权文献:
- CN104423182A 正型光阻剥除剂 公开/授权日：2015-03-18