基本信息:
- 专利标题： 压力传感器
- 专利标题（英）：Pressure sensor
- 申请号：CN201380022589.9 申请日：2013-03-19
- 公开(公告)号：CN104272074A 公开(公告)日：2015-01-07
- 发明人： 下山勋 , 松本洁 , 高桥英俊 , 阮明勇 , 筱原阳子 , 内山武 , 大海学 , 新荻正隆
- 申请人： 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
- 申请人地址： 日本千叶县千叶市
- 专利权人： 精工电子有限公司,国立大学法人东京大学
- 当前专利权人： 精工电子有限公司,国立大学法人东京大学
- 当前专利权人地址： 日本千叶县千叶市
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 何欣亭; 姜甜
- 优先权： 2012-105306 2012.05.02 JP
- 国际申请： PCT/JP2013/057765 2013.03.19
- 国际公布： WO2013/164927 JA 2013.11.07
- 进入国家日期： 2014-10-29
- 主分类号： G01L9/00
- IPC分类号： G01L9/00 ; G01L13/06 ; H01L29/84
This pressure sensor comprises: a sensor body comprising a first surface and a cavity comprising an aperture in the first surface; a base portion supported by the first surface; and an end portion arranged so as to form a gap with the rim of the aperture in the inner side of the aperture. Said pressure sensor is provided with: a cantilever that bendingly deforms in response to a pressure difference between the inside and outside of the cavity, and that is formed of a semiconductor material; and a displacement measurement section that measures the displacement of the cantilever, which in response to the pressure difference, vibrates at a frequency greater than a lower limit frequency (fLOW) (Hz) defined by the formula (1) below, wherein G represents the width (mum) of the gap, V the volume (ml) of the cavity, and k a constant of proportionality.
公开/授权文献:
- CN104272074B 压力传感器 公开/授权日：2016-05-25