基本信息:
- 专利标题： 位置检测装置、基板制造装置、位置检测方法及基板的制造方法
- 申请号：CN201410302738.3 申请日：2014-06-27
- 公开(公告)号：CN104249547B 公开(公告)日：2018-11-09
- 发明人： 渡边昭彦
- 申请人： 重机自动化系统有限公司
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 重机自动化系统有限公司
- 当前专利权人： 重机自动化系统有限公司
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理人： 何立波; 张天舒
- 优先权： 2013-135629 2013.06.27 JP
- 主分类号： B41F15/26
- IPC分类号： B41F15/26 ; B41F33/00
摘要：
本发明提供一种能够根据拍摄部所拍摄的图像中的对准标记的位置，更准确地计算实际的对准标记的位置的技术。位置检测装置具有拍摄部、存储部、控制部。上述拍摄部能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄。在上述存储部中，记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率。上述控制部使用在所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。
公开/授权文献:
- CN104249547A 位置检测装置、基板制造装置、位置检测方法及基板的制造方法 公开/授权日：2014-12-31