基本信息:
- 专利标题： 环形腔器件及其制作方法
- 申请号：CN201410188569.5 申请日：2014-05-07
- 公开(公告)号：CN104242052B 公开(公告)日：2018-01-19
- 发明人： 张瑞英
- 申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址： 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
- 专利权人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
- 代理机构： 南京利丰知识产权代理事务所
- 代理人： 王锋
- 优先权： 201310241897.2 2013.06.18 CN
- 主分类号： H01S5/10
- IPC分类号： H01S5/10
摘要：
本发明提供一种环形腔器件，包括无源环形波导以及与所述无源环形波导平面耦合的输入输出波导，还包括与所述无源环形波导和/或输入输出波导垂直耦合的有源波导结构，所述有源波导结构对无源环形波导提供损耗补偿。本发明还提供一种环形腔器件的制作方法。本发明可通过垂直耦合或者混合耦合（先垂直耦合然后平面耦合）使环形腔器件获得部分增益，从而补偿该环形腔器件内的损耗，提高其品质因子。
摘要（英）：
A ring cavity device includes a passive ring waveguide and an input/output waveguide horizontally coupled to the passive ring waveguide, including an active waveguide structure vertically coupled to the passive ring waveguide and/or the input/output waveguide. The active waveguide structure compensates for the loss of the passive ring waveguide. A method for fabricating a ring cavity device is also included. The ring cavity device may obtain part of the gain by vertical coupling or mixed coupling (vertical coupling followed by horizontal coupling) thus to compensate the loss in the ring cavity device. Hence, the quality factor of the ring cavity device is improved.
公开/授权文献:
- CN104242052A 环形腔器件及其制作方法 公开/授权日：2014-12-24