基本信息:
- 专利标题： 一种硬质皮膜及硬质皮膜形成用靶
- 专利标题（英）：Hard coating film and target for forming hard coating film
- 申请号：CN201380009513.2 申请日：2013-01-17
- 公开(公告)号：CN104114739A 公开(公告)日：2014-10-22
- 发明人： 大口优幸 , 青松明宏
- 申请人： 油研工业股份有限公司
- 申请人地址： 日本爱知县刈谷市野田町场割50番地
- 专利权人： 油研工业股份有限公司
- 当前专利权人： 油研工业股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本爱知县刈谷市野田町场割50番地
- 代理机构： 北京超凡志成知识产权代理事务所
- 代理人： 吴开磊
- 优先权： 2012-032003 2012.02.16 JP
- 国际申请： PCT/JP2013/050813 2013.01.17
- 国际公布： WO2013/121827 JA 2013.08.22
- 进入国家日期： 2014-08-14
- 主分类号： C23C14/06
- IPC分类号： C23C14/06 ; C23C14/32 ; C23C14/34
摘要：
本发明作为一种具有良好的耐热氧化性的硬质皮膜及用于形成该硬质皮膜的靶，提供具有下述组成的硬质皮膜：(CraAlbTicNbd)(C1-e-fNeOf)，在这里，a是Cr的原子比、b是Al的原子比、c是Ti的原子比以及d是Nb的原子比、并且e是N的原子比以及f是O的原子比，这些满足0.01＜a＜0.40、0.25＜b＜0.65、0.0＜c、0.0＜d、0.20＜c+d＜0.65、a+b+c+d＝1.0、0.0≤e≤1.0、0.0≤f≤1.0以及0.0≤e+f≤1.0。
摘要（英）：
Provided are: a hard coating film having excellent thermal oxidation resistance; and a target for forming the hard coating film. The hard coating film provided has the following composition: (CraAlbTicNbd)(C1-e-fNeOf). In the formula, a represents the atomic ratio of Cr, b represents the atomic ratio of Al, c represents the atomic ratio of Ti, d represents the atomic ratio of Nb, e represents the atomic ratio of N, and f represents the atomic ratio of O, wherein a, b, c, d, e and f fulfill the following formulae: 0.01 < a < 0.40, 0.25 < b < 0.65, 0.0