基本信息:
- 专利标题： 用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置
- 专利标题（英）：Device for generating a hollow cathode arc discharge plasma
- 申请号：CN201280062842.9 申请日：2012-10-17
- 公开(公告)号：CN104094377A 公开(公告)日：2014-10-08
- 发明人： H.莫格纳 , G.马陶施 , C.梅茨纳 , M.容黑内尔 , R.拉比茨克 , L.克洛泽 , T.维尔纳 , J.库布斯
- 申请人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
- 申请人地址： 德国慕尼黑
- 专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
- 当前专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
- 当前专利权人地址： 德国慕尼黑
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 卢江; 刘春元
- 优先权： 102011121386.8 2011.12.19 DE
- 国际申请： PCT/EP2012/070535 2012.10.17
- 国际公布： WO2013/091927 DE 2013.06.27
- 进入国家日期： 2014-06-19
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
The invention relates to a device for generating a hollow cathode arc discharge plasma, consisting of two plasma sources (11; 12), each comprising a hollow cathode (13; 14) and an electrode (15; 16) that is associated with the hollow cathode (13; 14) and has an opening extending through the electrode (15; 16), wherein the hollow cathodes (13; 14) of the two plasma sources (11; 12) are connected to a pulse generator (17) that generates a bipolar, medium frequency pulsed voltage between the two hollow cathodes (13; 14). In both plasma sources (11; 12), the hollow cathode (13; 14) is connected in an electrically conductive manner to the associated electrode (15; 16), either directly or with the intercalation of at least one component (38; 39) that delimits the current direction.
公开/授权文献:
- CN104094377B 用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置 公开/授权日：2016-05-11