基本信息:
- 专利标题： 自‑组装结构、其制造方法和包含其的制品
- 申请号：CN201310757186.0 申请日：2013-11-19
- 公开(公告)号：CN104049463B 公开(公告)日：2017-09-12
- 发明人： J·W·撒克里 , P·特雷福纳斯三世 , 赵祥浩 , G·孙 , K·L·伍利
- 申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司 , 得克萨斯A&M大学系统
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州;
- 专利权人： 罗门哈斯电子材料有限公司,得克萨斯A&M大学系统
- 当前专利权人： 罗门哈斯电子材料有限公司,得克萨斯A&M大学系统
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州;
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人： 胡嘉倩
- 优先权： 13/681,019 20121119 US
- 主分类号： G03F7/038
- IPC分类号： G03F7/038 ; G03F7/00
摘要：
本发明公开了包含接枝嵌段共聚物、光酸产生剂和交联剂的组合物，上述接枝嵌段共聚物包含第一嵌段聚合物和第二嵌段聚合物，第一嵌段聚合物包含主链聚合物和第一接枝聚合物，其中第一接枝聚合物包含表面能降低的部分，第二嵌段聚合物共价连接到第一嵌段，其中所述第二嵌段包含主链聚合物和第二接枝聚合物；其中第二接枝聚合物包含对交联接枝嵌段共聚物有效的官能团。
摘要（英）：
Disclosed herein is a composition comprising a graft block copolymer comprising a first block polymer; the first block polymer comprising a backbone polymer and a first graft polymer; where the first graft polymer comprises a surface energy reducing moiety; and a second block polymer; the second block polymer being covalently bonded to the first block; wherein the second block comprises the backbone polymer and a second graft polymer; where the second graft polymer comprises a functional group that is operative to crosslink the graft block copolymer; a photoacid generator; and a crosslinking agent.
公开/授权文献:
- CN104049463A 自-组装结构、其制造方法和包含其的制品 公开/授权日：2014-09-17