基本信息:
- 专利标题： 光纤热敏器件及其制造方法
- 专利标题（英）：Optical fibre thermosensitive device and its manufacture method
- 申请号：CN92113322.7 申请日：1992-12-01
- 公开(公告)号：CN1040050C 公开(公告)日：1998-09-30
- 发明人： 涂相征 , 涂鹏 , 李韫言
- 申请人： 李韫言 , 涂鹏 , 涂相征
- 申请人地址： 北京市东城区北河胡同14号
- 专利权人： 李韫言,涂鹏,涂相征
- 当前专利权人： 李韫言,涂鹏,涂相征
- 当前专利权人地址： 北京市东城区北河胡同14号
- 代理机构： 邮电部专利服务中心
- 代理人： 王丽琴
- 主分类号： H01L35/00
- IPC分类号： H01L35/00 ; H01L35/34
摘要：
本发明涉及一种光纤热敏器件及制造方法。包括热膨胀元，其上的反光镜，具有几对定位壁骨的光纤导向通道垂直地连接到反光镜处，和插入通道中的单模光纤。其主要制造步骤是用各向异性腐蚀剂在硅衬底上腐蚀制作热膨胀元、通道及壁骨。反光镜是用化学气相法淀积在氧化层上，由氮化硅、钛、金层组合的反光层，用阳极粘结工艺粘结遮盖薄板，光纤插入通道中以共聚物通过热处理固定在芯片上并封闭通道口。具有成本低可批量制造的优点。
公开/授权文献:
- CN1087718A 光纤热敏器件及其制造方法 公开/授权日：1994-06-08