![分选机以及部件检查装置](/CN/2014/1/21/images/201410105549.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 分选机以及部件检查装置
- 申请号:CN201410105549.7 申请日:2012-08-28
- 公开(公告)号:CN103996642B 公开(公告)日:2018-03-09
- 发明人: 长谷川信夫 , 藤森广明 , 下岛聪兴
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 北星科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人: 李洋; 舒艳君
- 优先权: 2011-193666 2011.09.06 JP
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L21/66
摘要:
本发明提供分选机以及部件检查装置,其中,分选机具备:基台,其具有开口部;第1手部,其输送输送对象物;第1输送部,其将第1手部向开口部的上方输送并下降;第2手部,其输送输送对象物;第2输送部,其将第2手部向开口部的上方输送并下降;以及控制部,其控制第1输送部的动作和第2输送部的动作,具有第1手部和第2手部朝向开口部的上方相互靠近,并排配置于开口部的状态。
摘要(英):
A handler includes a base having an opening portion, a first hand which transports a transport target, a first transport section which transports the first hand to above the opening portion and moves the first hand down, a second hand which transports the transport target, a second transport section which transports the second hand to above the opening portion and moves the second hand down, and a control section which controls an operation of the first transport section and an operation of the second transport section. The handler has a state where the first hand and the second hand are disposed in parallel to the opening portion while being close to each other toward above the opening portion.
公开/授权文献:
- CN103996642A 分选机以及部件检查装置 公开/授权日:2014-08-20
IPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01L | 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件 |
------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
--------H01L21/67 | .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置 |