基本信息:
- 专利标题： 微波离子源及其启动方法
- 专利标题（英）：Microwave ion source and method for starting same
- 申请号：CN201410053592.3 申请日：2014-02-17
- 公开(公告)号：CN103996591A 公开(公告)日：2014-08-20
- 发明人： 高桥伸明 , 村田裕彦
- 申请人： 住友重机械工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 住友重机械工业株式会社
- 当前专利权人： 住友重机械工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理人： 徐殿军
- 优先权： 2013-028722 2013.02.18 JP
- 主分类号： H01J27/16
- IPC分类号： H01J27/16
摘要：
本发明提供一种用于启动微波离子源的实用方法、及根据这种启动方法而被控制的微波离子源。微波离子源（10）具备：等离子体室（12）；磁场发生器（16），用于在等离子体室（12）产生磁场；及控制装置（C），将磁场发生器（16）控制成对等离子体室（12）施加用于等离子体点火的初始磁场且在等离子体点火后使初始磁场变更为普通磁场。等离子体室（12）也可以具备用于接受微波的真空窗（24）、及离子引出开口（66）。初始磁场也可以从真空窗（24）遍及离子引出开口（66）具有平坦的磁场分布。
摘要（英）：
A microwave ion source includes a plasma chamber, a magnetic field generator that generates a magnetic field in the plasma chamber, and a control unit that controls the magnetic field generator to apply an initial magnetic field for plasma ignition to the plasma chamber and change the initial magnetic field to a normal magnetic field after the plasma ignition. The plasma chamber may have a vacuum window that receives a microwave, and an ion extraction opening. The initial magnetic field may have a flat magnetic field distribution from the vacuum window to the ion extraction opening.
公开/授权文献:
- CN103996591B 微波离子源及其启动方法 公开/授权日：2016-06-15